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学霸的军工科研系统 第1607章 多重曝光

作者:十月廿二 分类:科幻 更新时间:2025-07-26 12:42:20

三天后,未来信息产业大会圆满落幕。

常浩南婉拒了后续的交流活动,在周学和两名便装警卫的陪同下,乘坐一辆低调的中巴车,直奔华芯国际设置在津门海河新区的生产与研发基地。

按照常浩南本人的要求,基地没有设置盛大的欢迎仪式。

只有负责人黄炜和提前一天回津的技术总监吴明翰,以及几名核心技术人员安静地等候。

看到常浩南下车,为首两人立刻迎上前。

简短的寒暄后,常浩南一行人便在专人引导下,前往更衣区。

晶圆制造对洁净度的要求比手术室严格百倍,因此在进入核心区域之前,必须换上全套特制的无尘服,并经过严格的风淋除尘程序。

踏出气动闸门之后,空气里就只剩下特有的洁净室气味,以及微弱的机器嗡鸣。

透过观察窗,可以看到一批完成抛光和清洗、表面光洁如镜的硅片,正被机械臂精准地送入沉积区,进行着薄膜生长。

“常院士,这是我们最基础的环节之一,硅片的制备和初始加工。”黄炜的声音透过通讯系统传来,“经过表面处理、清洗、沉积必要的镀膜作业之后,晶圆才会进入后面的光罩制作……也就是光刻环节。”

黄炜一边介绍流程,一边注视着自动化流程的完成。

正巧,一个批次的晶圆刚刚完成镀膜,被机械臂取出。

他示意操作员取出一片样品,隔着专用视窗展示给常浩南。

晶圆表面反射着顶灯的冷光,呈现出均匀的光泽。

常浩南俯身盯着晶圆的尺寸和边缘,伸手隔着玻璃比划了一下,问道:“黄总,这一批是200mm(8英寸)?”

“是的,常院士。”黄炜肯定道,“这是我们目前量产的主力尺寸。”

旁边的吴明翰适时补充:“12英寸(300mm)的产线还在备产阶段,主要是……现在公司的资金和顶尖工程资源,绝大部分都集中投入到光刻环节的突破上,尤其是利用现有深紫外(DUV)设备攻坚更先进制程的研发。”

“不过从技术储备的角度,我们并不落后太多,一旦资金或关键设备到位,提速会很快。”

常浩南微微颔首,没有多言,示意继续前行。

“后面就是光罩制作区了。”黄炜一边引路一边介绍,“把IC设计图用电子束刻在石英片上,就能制成光罩,这个东西类似照相底片,刚才生产的晶圆就是相片纸,基本原理和洗照片差不多。”

虽然不完全准确,但足够生动,哪怕是外行也很容易理解。

“这里是我们给客户提供代工服务的主力区域。”黄炜指着几台正在运行的光刻机介绍:“除了满足国内IC设计公司的需求之外,我们也承接像德州仪器等国际厂商的部分订单。”

常浩南微微露出惊讶的表情,只是隔着面罩展现不出来。

“还有外国订单?”

“嗯,产品主要面向国内和中亚市场。”吴明翰解释道,“中低水平制程这块,我们流片的良率和速度都有优势。”

常浩南突然意识到,如今半导体产业的情况,要远比自己过去那条时间线上复杂得多。

介绍间,黄炜注意到常浩南的目光并未停留在运行中的量产设备上,而是投向了不远处一个被透明围挡隔开的区域。

那里同样属于光罩制作区,但周围聚集的技术人员更多,氛围也更显紧张和专注。

“常院士,那边是我们的研发攻坚区。”黄炜解释道,“您也看到了,生产和研发在光刻这个环节,很多时候是共用同一条线,设备和技术是互通的。”

“那边就是在尝试双重甚至四重曝光技术,目标是用我们现有的NXT:1950iDUV光刻机,向更小的特征尺寸发起冲击。”

常浩南的目光转向吴明翰:“这就是之前您提到的,良品率最低、成本最高的环节?”

吴明翰脸上浮现出复杂的神情。

他没有直接回答,而是引着常浩南走向该区域旁边一个专门的陈列台。

“常院士请这边看。”

陈列台上并非闪闪发光的成品芯片,而是整齐摆放着数十片晶圆。

乍看之下,它们与刚才看到的完成镀膜的晶圆似乎并无太大区别。

常浩南转向对方,等待着更进一步的说明。

吴明翰拿起靠近他的一片晶圆,指着上面几处微小的、肉眼几乎难以分辨的重影区域:“这就是‘套刻误差’导致的报废。在多重曝光中,第一次曝光形成的图案和第二次曝光需要精确对准。哪怕只有几纳米的偏差,迭加后整个电路就失效了。”

他放下这片,又拿起另一片,指着表面某些线条粗细明显不均的地方:

“这是‘关键尺寸偏差’,多次曝光、显影、刻蚀的累积效应,导致不同区域的线宽无法保持一致,超出了规格极限。”

他再拿起第三片:“这是‘显影缺陷’……工艺窗口太窄,稍有不慎,图案就毁了……”

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