碳化硅研发实验室里,空气安静得能听见通风系统微弱的气流声。
张明远站在X射线衍射仪旁,盯着屏幕上刚刚刷新出来的分析图谱。林海凑在一边,手指无意识地攥着实验服的下摆。两个研究生站在稍远处,屏住呼吸。
图谱上,代表晶体缺陷密度的峰值,稳稳地落在了一个他们反复计算、却从未真正触及过的数值区间。
“第几片了?”张明远的声音有些干涩。
“本批次随机抽检的第十片。”林海看了眼记录板,“前面九片的缺陷密度分别是:785,792,801,779,788,795,776,790,784……单位都是每平方厘米。”
“平均值?”
“785.6。”林海几乎是一字一顿地报出这个数字,“标准差,8.7。”
实验室里那根紧绷了数月的弦,在这一刻,悄然松了一扣。
低于800。稳定。量产批次。
张明远摘下眼镜,用力揉了揉鼻梁,又重新戴上,仔细核对了每一个数据点的校准标记。“把这一批三十片衬底的全部检测报告整理出来。我要看统计分布,不只是平均值。”
“已经在做了。”一个研究生立刻调出数据统计界面,柱状图呈现出一个漂亮的正态分布,绝大多数数据点集中在770到800之间。
林海终于放开实验服,长长吐出一口气,咧开嘴,笑容从嘴角一直爬到眼角:“张老师,我们……好像真成了?”
“只是第一步。”张明远的声音依旧平静,但镜片后的眼睛里,有光在闪动,“证明我们掌握了在六英寸衬底上稳定生长低缺陷密度碳化硅晶体的工艺能力。但距离器件级应用,还有距离——均匀性、掺杂控制、后期加工……”
“您说得对。”林海打断他,笑容不减,“但今天,就今天,让大伙儿高兴五分钟,行不?我这就去告诉陆总!”
张明远看着林海几乎是跳着冲出实验室的背影,摇了摇头,嘴角却也不自觉地扬起一个微小的弧度。他转向两个研究生:“把数据备份三份,一份存研发服务器,一份刻盘归档,还有一份……”他顿了顿,“打印出来,贴到实验室门口的通告栏上。让所有人都看看。”
这是团队应得的荣誉时刻。
陆晨接到林海电话时,正在会议室里参加终审答辩的第三次全真模拟。
沈南星扮演评审专家,问题尖锐;王建国负责操作演示设备;几位核心技术人员列席旁观。模拟进行到“产业化风险评估”环节,沈南星刚刚抛出那个预设的难题:“如果关键进口设备因故延迟交付六个月,贵公司的量产时间表将如何调整?”
林海的电话就是这时打进来的。
陆晨看了一眼来电显示,举手示意暂停,走到会议室外接听。
“陆总!达标了!785!稳定!”林海的声音激动得有些变调,“整批次三十片,全部低于800,波动范围控制在正负4%以内!我们拿到进入器件赛道的门票了!”
窗外阳光正好,陆晨握着手机,能清晰地听见自己心跳加速的声音。但他只是平静地回应:“辛苦了。数据报告尽快整理给我。另外,用同样的工艺条件,再生产一个批次验证重复性。庆祝的事,等终审结束再说。”
“明白!”林海的声音依旧高昂,“我这就去安排!”
挂断电话,陆晨在走廊里站了几秒钟,让那个数字在心里沉淀。785。这不是实验室偶尔的灵光一现,而是工程化稳定性的证明。它来得正是时候。
他转身回到会议室,对众人宣布:“刚得到消息,碳化硅衬底量产批次,缺陷密度稳定在800以下。”
会议室里安静了一瞬,随即响起低低的欢呼和掌声。王建国用力拍了下桌子,沈南星也露出了难得的笑容。
“这是个好消息,能极大增强我们技术路线的可信度。”陆晨压了压手,让众人安静下来,“现在,继续模拟。沈总,请重复刚才的问题。”
沈南星迅速进入状态:“如果关键进口设备延迟六个月交付……”
陆晨的回答已经和接电话前不同,他指向演示屏幕上新增的一条:“我们会启动备案的国产设备合作开发计划。事实上,在碳化硅项目上,我们已经与国内设备商联合开发了核心的晶体生长炉热场部件,并开始测试。进口设备提供了更高的初始精度和可靠性,但技术原理我们已经吃透,国产替代的路径和时间表是清晰的。”
他顿了顿,补上一句:“这种‘不把鸡蛋放在一个篮子里’的供应链韧性,正是我们评估自身产业化风险时的核心考量之一。”
沈南星点了点头,在评估表上做了个记号。她扮演的“评审专家”显然对这个答案满意。
模拟继续。但陆晨知道,真正的考验,从来不在预设的问题里。
下午四点,沈南星带着最新的情报走进陆晨办公室,脸色比早上更加凝重。
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