凌晨两点,燧人科技新厂区研发楼的三号实验室还亮着灯。
等离子体诊断系统的硬件原型被固定在生产型清洗设备旁,七英寸的显示屏上,两条曲线随着设备的脉冲周期稳定起伏。林海和两个研究生裹着军大衣,盯着旁边一台示波器。
“电网电压记录正常吗?”林海问。
“正常,220伏正负2%。”一个研究生看着监控屏,“设备功率稳定在1500瓦,氩气流量每分钟3标准升,氢气的占空比按设定程序在5%到8%之间调节。”
“好,第七小时数据记录开始。”林海在实验日志上写下时间,“如果到明早八点,两条特征曲线的波动幅度都能保持在设定阈值内,稳定性测试就算通过。”
实验室里只有设备运转的低频嗡鸣和空调出风声。就在这时,诊断系统的显示屏上,那条代表氢原子谱线强度的蓝色曲线,毫无征兆地向下掉了一下。
幅度不大,大约5%,持续时间不到两秒,随即恢复。
“什么情况?”林海立刻凑近。
“设备参数没变化。”研究生快速检查控制界面。
“电网呢?”
“刚记录到一个电压波动——从221伏瞬间跌到214伏,持续1.8秒,已恢复。”另一个研究生调出实时监控,“是厂区外部电网的波动,不是我们设备的问题。”
林海迅速调取诊断系统在这两秒内采集到的原始光谱数据。快速傅里叶变换后的图谱显示,在电压下跌的那一瞬间,等离子体辉光中几条关键谱线的强度比例发生了微小但可辨识的变化。
“系统捕捉到了……”他低声说,带着难以置信的兴奋,“一次由外部供电波动引发的等离子体状态扰动!虽然设备自身的反馈控制稳住了功率,但等离子体内部的化学活性已经受到了影响!”
他立刻调出正在处理的这批碳化硅衬底的编号——这是第一批在生产设备上安装诊断系统后处理的工程样品,计划明天送去做表面分析。
“记录下这个时间点对应的衬底编号。”林海快速说道,“明天重点分析这片衬底对应区域的表面状态。如果诊断系统的预警是对的,那么这片衬底的某个局部区域,性能参数可能会有可测量的偏差。”
他看向显示屏上已经恢复平稳的曲线。系统安静地运行着,仿佛刚才那一次微小的报警从未发生。
但这正是它存在的意义:发现那些人工无法察觉、传统监控系统会忽略的“暗病”。
林海拿起手机,在凌晨两点十五分,给陆晨发了一条消息:“陆总,诊断系统首次捕捉到外部电网波动导致的工艺异常。虽然很轻微,但证明它能‘看到’我们看不到的东西。详细报告明早发您。”
发完消息,他看着窗外漆黑的厂区,远处只有路灯的光晕。
一些改变正在寂静中发生。
上午九点,陆晨在办公室见到了王建国和沈南星。桌上摆着一个老式的便携式录音机,旁边是那盒从赵广富手里拿到的磁带。
“我找人检查过,磁带是普通的TDK空白带,录制时间大约在半年前。”王建国说,“没有物理破坏的痕迹。用专业设备播放,音质一般,有环境噪音,像是……茶楼包间。”
陆晨按下播放键。
先是几秒的空白噪声,然后是一个略显油腻的男声(赵广富):“……刘主任,您放心,规矩我懂。这次‘琉璃’项目,我们宸星是志在必得。”
一个沉稳些的男声(被称作刘主任):“老赵,话别说太满。这次是国家级项目,评审组里专家多,程序严。不是靠打点一两个人就能成的。”
赵广富:“那是那是。不过话说回来,专家也是人嘛。尤其是那些搞技术的,清苦一辈子,眼看这么个大项目落地,谁不想参与进去,留个名?我们徐总说了,只要是真正有水平的专家,项目启动后,都可以聘为‘特聘技术顾问’,按贡献参与成果分享……”
刘主任:“顾问费的事,现在查得严。”
赵广富:“哎,哪能叫顾问费呢?这叫‘技术咨询劳务报酬’,合法合规。我们委托第三方机构发放,金额嘛,肯定体现专家价值。比如那位从北京请来的李老,德高望重,在‘产业化风险评估’这个环节,一句话顶我们跑半年。您看……”
录音里传来茶杯轻碰的声音。
刘主任:“李老那边……我会找机会提一句宸星的技术优势。但他那个人,原则性很强,不能说得太直白。你们自己,关键还是要把材料做扎实,尤其是量产可行性那块,不能有硬伤。”
赵广富:“明白明白!量产方案我们绝对扎实!那就拜托刘主任了……”
录音到此结束,后面是沙沙的空白声。
办公室里安静了片刻。
“这个刘主任,应该就是开发区管委会那位负责项目初筛的副主任刘建业。”沈南星先开口,“他去年帮宸星协调过土地政策。至于李老……评审组名单里,确实有一位从工信部下属研究院退休返聘的专家,姓李,在显示器件产业化评估方面很有权威。”
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