周一清晨六点,陆晨抵达北京南站。
北方秋天的空气干冷,站台上呼出的白气很快消散。他拉着一个小行李箱,里面除了换洗衣物,就是封装好的碳化硅样品和技术资料。出站时,天空还是深蓝色,路灯还没熄。
出租车驶向海淀区。司机是个话不多的中年人,听到目的地是“中科院半导体所”,从后视镜看了陆晨一眼:“去开会?”
“嗯。”
“搞半导体的?”
“算是。”
司机点点头,没再问。车子驶上三环,早高峰还没开始,车流顺畅。陆晨看着窗外,北京的天际线比江州高得多,玻璃幕墙在晨光中泛着冷光。
八点,他到达半导体所门口。李教授已经在等了,穿着件旧夹克,手里端着保温杯。
“陆晨,来得挺早。”李教授和他握手,“吃早饭没?”
“在车上吃了点。”
“那行,直接去会场。今天上午是闭门讨论,下午才是公开报告。”李教授边走边说,“来了不少专家,清华、北大、中科院,还有几家企业的。你准备讲哪部分?”
“石墨烯缓冲层的优势和最新进展。”陆晨说,“重点讲缺陷密度降到八百多的数据。”
“数据确实漂亮。”李教授推开会议楼的门,“但你要注意,这里的人都很懂行。他们不会只听数据,会问细节,问原理,问重复性。你得准备好。”
“明白。”
会议室里已经坐了三四十人。长条桌,投影仪开着,幕布上显示着会议标题:“第三代半导体材料与器件关键技术研讨会”。气氛严肃,很少有人交谈,都在看手里的资料。
李教授带陆晨到后排坐下,低声介绍前排的几个人:“穿灰色西装那位是清华的王院士,国内碳化硅的权威。旁边戴眼镜的是中电科的首席专家。再旁边那位女士,是科技部专项办的处长。”
陆晨默默记下。这些人,随便一个的意见都可能影响一个产业的发展方向。
九点,会议开始。主持人简短开场后,王院士第一个发言。他讲的是碳化硅衬底产业化的现状和挑战,数据详实,观点犀利。
“国内现在能做六英寸衬底的有五家,但能量产的只有两家。质量不稳定,成本下不来,关键设备受制于人。”王院士推了推眼镜,“我们和国外的差距,不在论文上,在工程化能力上。”
台下有人点头,有人记录。
陆晨听得很认真。这些宏观分析,比他平时接触的层面高得多,但也更清晰地指出了问题所在。
接下来是中电科的专家,讲碳化硅功率器件的应用前景。新能源汽车、轨道交通、智能电网……每个领域都是万亿级市场。但前提是,材料要过关。
“现在车规级的碳化硅器件,衬底全部依赖进口。”专家指着屏幕上的供应链图,“如果我们不能在材料上突破,下游再热闹,也是给别人做嫁衣。”
话很直接,会场气氛凝重。
上午的发言持续到十二点。陆晨记了满满三页笔记,都是关键问题和行业痛点。中午自助餐时,李教授带他见了几个专家。
“这位是陆晨,江州燧人智燃的,做石墨烯缓冲层碳化硅。”李教授介绍得很简短。
几位专家礼貌性地点点头,问了几个常规问题:公司规模、技术来源、投入情况。陆晨一一回答,不多说,也不少说。
“石墨烯缓冲层……这个思路国际上也有,但工程化难度很大。”一位专家说,“你们做到什么程度了?”
“四英寸衬底,缺陷密度八百多,面内均匀性百分之一点八。”陆晨说。
专家的表情认真了些:“数据有第三方验证吗?”
“中科院半导体所的李教授团队帮我们做过表征。”
几位专家看向李教授。李教授点头:“数据我看了,确实不错。但样品量还小,需要放大验证。”
“下午的公开报告,你会讲这个吗?”另一个专家问陆晨。
“会。”
“那听听看。”
简单交流后,专家们去别处交谈了。李教授低声说:“他们现在只是感兴趣,还没到重视的程度。下午的报告很重要,你要讲出特点,讲出不可替代性。”
“什么不可替代性?”
“石墨烯缓冲层的核心优势是什么?不只是降低缺陷,更是为后续器件设计提供新的可能性。”李教授说,“比如,石墨烯本身是二维材料,可以做成柔性器件?或者利用它的电学特性,做新型传感器?这些延伸方向,比单纯的材料参数更有想象力。”
陆晨明白了。他要讲的不仅是已经做到的,更是未来可能做到的。
下午两点,公开报告开始。能容纳两百人的报告厅几乎坐满了。陆晨被安排在第三个发言。
前两个报告讲的都是传统碳化硅技术路线,进展和数据都很好,但缺乏新意。台下听众礼貌性鼓掌,提问也不多。
轮到陆晨时,他走上讲台。灯光有点刺眼,他调整了一下麦克风。
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